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光學(xué)表面質(zhì)量檢測系統(tǒng)是一款革命性的光學(xué)表面 質(zhì)量檢測系統(tǒng)，具備高重復(fù)性和準(zhǔn)確性。

非接觸式測厚儀采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀原理。可單次測量多層膜，最高可測 20 層。

夏克哈特曼傳感器集合了干涉儀、光束分析儀、自準(zhǔn)直儀及四象限探測器優(yōu)點(diǎn)于一身，具有測量速度快、精度高、尺寸小巧的特點(diǎn)。

干涉儀：非接觸式技術(shù)檢測拋光平面和球面的精度（功率、不規(guī)則度）；測試表面半徑；檢測目標(biāo)傳輸波前畸變（TWD)。