熱門關鍵詞： 測角儀，應力雙折射，折射率，薄膜弱吸收，反射率，GDD檢測設備，波片相位延遲，剪切
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非接觸式測厚儀采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀原理。可單次測量多層膜，最高可測 20 層。
夏克哈特曼傳感器集合了干涉儀、光束分析儀、自準直儀及四象限探測器優點于一身，具有測量速度快、精度高、尺寸小巧的特點。
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各向異性測量系統2-MGEM橢圓計是一個重大的突破，光學各向異性測量技術更快、更準確、收集更多的數據。
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